Tình hình thay đổi đơn vị hành chính ở huyện Tiên Du
Theo “Đại việt sử ký toàn thư”, tên huyện Tiên Du có từ thời Trần (thế kỷ XIII). Thời thuộc Minh (1414 - 1427) huyện Tiên Du thuộc châu Vũ Ninh. Bắt đầu từ thời Lê (1428), huyện Tiên Du thuộc phủ Từ Sơn. Theo sách “Dư địa chí” của Nguyễn Trãi, thì đầu thế kỷ XV, huyện Tiên Du có 52 xã. Đến thời Lê Thánh Tông (1490), huyện có 52 xã. Thời Gia Long (1802 – 1819) huyện có 9 tổng với 52 xã:
1. Tổng Phù Đổng có 3 xã: Phù Đổng, Phù Ninh, Đổng Xuyên.
2. Tổng Dũng Vi có 3 xã: Dũng Vi, Trung Mầu, Thịnh Lân.
3. Tổng Đại Vi có 4 xã: Đại Vi, Đại Vi Thượng, Đại Vi Trung, Dương Húc.
4. Tổng Đông Sơn có 5 xã: Đông Sơn, Đại Sơn, Đồng Lạng, Long Khám, Dưỡng Mông.
5. Tổng Thụ Triền có 7 xã thôn: thôn Triền thuộc xã Thụ Triền, Thụ Triền (gồm 2 thôn Phù Lập Thượng và Phù LậpTrung), Phật Tích, Cổ Miếu, Cao Đường, Vĩnh Phú, Trùng Minh.
6. Tổng Nội Duệ có 10 xã thôn: Nội Duệ, thôn Đông thuộc xã Nội Duệ, thôn Nam thuộc xã Nội Duệ, thôn Khánh thuộc xã Nội Duệ, Hoài Bão (gồm 2 thôn Trung và Thị), Lũng Giang, Bái Uyên.
7. Tổng Khắc Niệm có 8 xã: Khắc Niệm Thượng, Khắc Niệm Hạ, Hiên Ngang, Bồ Sơn, Xuân Ổ, Dương Ổ, Vân Khám, Lai Đình.
8. Tổng Chi Nê có 5 xã: Chi Nê, Chi Nê Nội, Nghĩa Lộ, Tư Vi.
9. Tổmg Nội Viên có 7 xã: Nội Viên, An Động, Hoa Hội, Hộ Vệ, Hương Vân, Nghi Vệ
Các xã: Nguyễn Xá, Phù Đổng, Văn Trinh năm 1807 phiêu tán, năm 1808 phục hồi.
Đến năm Đồng Khánh thứ nhất (1886), huyện có 9 tổng với 56 xã, thôn. Đó là các tổng:
1. Tổng Phù Đổng có 4 xã: Phù Đổng, Phù Dực, Đồng Viên, Đổng Xuyên.
2. Tổng Dũng Vi có 3 xã: Dũng Vi, Trung Mầu, Thịnh Lân.
3. Tổng Đại Vi có 4 xã: Đại Vi, Đại Vi Thượng, Đại Vi Trung, Dương Húc.
4. Tổng Đông Sơn có 7 xã: Đông Sơn, Đại Sơn, Đồng Lạng, Long Khánh, Dưỡng Mông, Văn Trinh, Đại Tảo.
5. Tổng Thụ Phúc có 8 xã, thôn: thôn Phúc thuộc xã Thụ Phúc (tên cũ là Thụ Triền, năm 1843 đổi là Thụ Phúc), thôn Phù Lập Trung và thôn Phù Lập Thượng thuộc xã Thụ Phúc , Trùng Minh, Phật Tích, Cổ Miếu, Tam Bảo, Cao Đường, Vĩnh Phú.
6. Tổng Nội Duệ có 10 xã, thôn: Nội Duệ, Nội Duệ Đông, Nội Duệ Nam, Nội Duệ Khánh, thôn Trtung và thôn Thị xã Hoài Bão, Lũng Sơn, Lũng Giang, Bái Uyên, Hồi Bão, thôn Thượng xã Hoài Bão,
7. Tổng Khắc Niệm có 8 xã: Khắc Niệm Thượng, Khắc Niệm Hạ, Hiên Đường, Bồ Sơn, Xuân Ổ, Dương Ổ, Vân Khám, Hoà Đình.
8, Tổng Chi Nê có 5 xã: Chi Nê, Chi Nê Nội, Tử Nê, Nghĩa Chỉ, Tư Vi.
9. Tổng Nội Viên có 7 xã: Nội Viên, An Động, Xuân Hội (trước là Hoa Hội, năm 1841 đổi là Xuân Hội), Hộ Vệ, Hương Vân, Nghi Vệ, Tiên Xá (trước là Nguyễn Xá, năm 1852 đổi là Tiên Xá).
Đầu thế kỷ XX, tổng Khắc Niệm được chuyển về huyện Võ Giàng. Sau đó, một thời gian, tổng Khắc Niệm lại được chuyển trả lại cho Tiên Du.
Sau Cách mạng tháng Tám năm 1945, khi cấp tổng bị bãi bỏ, đơn vị hành chính cấp xã cũ được gữ nguyên và trực thuộc huyện Tiên Du.
Thực hiện Sắc lệnh số 201 ngày 15 tháng 10 năm 1946 của Chủ tịch Chính phủ, hai xã Vân Khám và Hiên Ngang thuộc huyện Võ Giàng nay sáp nhập vào huyện Tiên Du.
Năm 1948, các xã được thành lập trên cơ sở một số làng sáp nhập lại.
Ngày 20 tháng 4 năm 1961, theo quyết định của Hội đồng Chính Phủ, xã Phù Đổng và xã Trung Hưng (sau đổi là Trung Mầu) được chuyển về huyện Gia Lâm (TP Hà Nội).
Ngày 14 tháng 3 năm 1963, Hội đồng Chính Phủ ra quyết định số 25/QĐ, nhập 2 huyện Tiên Du và Từ Sơn thành một huyện, lấy tên là huyện Tiên Sơn. Cũng theo Quyết định này, 2 xã Phú Lâm và Tương Giang của huyện Yên Phong được chuyển về huyện Tiên Sơn và chuyển 2 xã Đông Thọ và Văn Môn của huyện Từ Sơn về huyện Yên Phong (nay là xã Tương Giang thuộc thị xã Từ Sơn).
Ngày 4 tháng 6 năm 1969, Hội đồng Chính phủ ban hành Quyết định số 84-CP hợp nhất huyện Tiên Sơn và huyện Yên Phong thành một huyện lấy tên là huyện Tiên Phong. Nhưng đến ngày 19 tháng 1 năm 1974, Hội đồng Chính phủ ban hành Quyết định số 17-CP phê chuẩn đề nghị của UBND tỉnh Hà Bắc thôi không hợp nhất huyện Tiên Sơn với huyện Yên Phong.
Ngày 3 tháng 5 năm 1985, Hội đồng Bộ trưởng ban hành Quyết định số 130-HĐBT về việc điều chỉnh địa giới các huyện Tiên Sơn, Quế Võ và thị xã Bắc Ninh. Theo đó, xã Võ Cường thuộc huyện Tiên Sơn được chuyển từ thị xã Bắc Ninh.
Sau khi điều chỉnh địa giới, huyện Tiên Sơn có 26 xã và 1 thị trấn. Đó là các xã: Khắc Niệm, Hạp Lĩnh, Lạc Vệ, Tân Chi, Phú Lâm, Vân Tương, Liên Bão, Hiên Vân, Việt Đoàn, Minh Đạo, Cảnh Hưng, Nội Duệ, Tương Giang, Hoàn Sơn, Phật Tích, Tri Phương, Tam Sơn, Đồng Nguyên, Tân Hồng, Đại Đồng, Hương Mạc, Phù Khê, Châu Khê, Đồng Quang, Đình Bảng, Phù Chẩn và thị trấn Từ Sơn
Ngày 10 tháng 12 năm 1998, Chính phủ ban hành Nghị định số 101/1998/NĐ-CP về việc thành lập thị trấn Lim – thị trấn huyện lỵ huyện Tiên Sơn trên cơ sở toàn bộ 488 ha diện tích đất tự nhiên và 9.778 nhân khẩu của xã Vân Thương.
Ngày 11 tháng 8 năm 1999 Chính phủ ra nghị định số 68/1999/NĐ – CP tách huyện Tiên Sơn thành 2 huyện, lấy tên là huyện Tiên Du và huyện Từ Sơn. Tại thời điểm đó, huyện Tiên du có 10.630,03 ha diện tích đất tự nhiên và 125.157 nhân khẩu, có 16 đơn vị hành chính trực thuộc, gồm 15 xã và 1 thị trấn. Đó là các xã: Khắc Niệm, Hạp Lĩnh, Lạc Vệ, Tân Chi, Phú Lâm, Liên Bão, Hiên Vân, Việt Đoàn, Minh Đạo, Cảnh Hưng, Nội Duệ, Hoàn Sơn, Phật Tích, Tri Phương, Đại Đồng và thị trấn Lim.
Địa giới hành chính của huyện Tiên Du: Đông giáp huyện Quế Võ, Tây giáp huyện Tự Sơn, Nam giáp huyện Thuận Thành và thành phố Hà Nội, Bắc giáp huyện Yên phong và thành phố Bắc Ninh.
Thực hiện Nghị định số 60/2007/NĐ-CP ngày 9 tháng 4 năm 2007 của Chính phủ về việc điều chỉnh địa giới hành chính huyện Yên Phong, huyện Quế Võ, huyện Tiên Du để mở rộng thành phố Băc Ninh, từ ngày 24 tháng 4 năm 2007, toàn bộ diện tích đất tự nhiên và nhân khẩu của xã Khắc Niệm và xã Hạp Lĩnh (gồm 1.240,45 ha diện tích đất tự nhiên và 14.783 nhân khẩu) được chuyển về thành phố Bắc Ninh.
Đến thời điểm đó, huyện Tiên Du còn lại 9.620,71 ha diện tích đất tự nhiên và 119.721 nhân khẩu; có 14 đơn vị hành chính trực thuộc, bao gồm các xã: Phú Lâm, Nội Duệ, Liên Bão, Lạc Vệ, Hiên Vân, Việt Đoàn, Hoàn Sơn, Phật Tích, Đại Đồng, Minh Đạo, Tri Phương, Cảnh Hưng, Tân Tri và thị trấn Lim.
Từ năm 1832 trở về trước, huyện lỵ huyện Tiên Du đóng tại làng Đông Sơn. Năm 1833, chuyển huyện lỵ về thôn Trung và thôn Thị xã Hoài Bảo, chung quanh đắp tường đất, mỗi chiều dài 12 trượng, trồng tre làm lũy, mặt trước mở một cửa hướng Nam. Năm 1963 khi hợp nhất 2 huyện Tiên Du và Từ Sơn, huyện lỵ đóng tại chân núi Lim xã Vân Tương. Hiện nay, huyện lỵ vẫn đóng ở chỗ cũ (nay là thị trấn Lim).
Đến ngày 01 tháng 4 năm 2009, huyện Tiên Du có 124.497 nhân khẩu, trong đó có 61.498 nam, 62.999 nữ.